[发明专利]一种低温泵有效
| 申请号： | 201510721110.1 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN105179199B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 毛文瑞 | 申请（专利权）人： | 上海优拓低温技术有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201108 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及到一种低温泵，其包括法兰（1），与法兰（1）连接的真空腔体（2）、与真空腔体(1)连接的制冷机（3），其中，所述真空腔体（2）内还设有冷伞吸附组件(4)，所述冷伞吸附组件（4）通过其上的顶盖（7）固定在真空腔体（2）的顶部，所述冷伞吸附组件(4)包含中心板（10），阵列排布冷伞片(20)。制冷机（3）包含一级冷头、二级冷头。其中，制冷机（3）的一级冷头用于给80屏（6）和一级挡板（5）制冷，制冷机（3）的二级冷头用于给冷伞吸附组件（4）制冷。本发明的有益效果是：1、有效的提高低温泵抽取真空腔体内气体的速率；2、改善真空腔体内部的真空度；3、减少低温泵的制作和维修成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温泵 | ||
【主权项】：
1.一种低温泵，其包括法兰（1），与法兰（1）连接的真空腔体（2）、与真空腔体(1)连接的制冷机（3），其特征在于，所述真空腔体（2）内还设有冷伞吸附组件(4)，所述冷伞吸附组件（4）通过其上的顶盖（7）固定在真空腔体（2）内，所述冷伞吸附组件(4)包含中心板（10）和阵列排布冷伞片 (20)，所述中心板（10）为圆形板，所述阵列排布冷伞片 (20)分为第一阵列冷伞片 (21)，第二阵列冷伞片 (22)，第三阵列冷伞片（23），第四阵列冷伞片（24），所述第一阵列冷伞片 (21)，第二阵列冷伞片 (22)，第三阵列冷伞片（23），第四阵列冷伞片（24）至少包含两片冷伞片，所述冷伞吸附组件（4）顶盖（7）为正六边形，在所述冷伞吸附组件（4）顶盖（7）的每条边上均开有若干个吸附小孔（8）。
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