[发明专利]质量流量计的标定方法

摘要

本发明提供了一种质量流量计的标定方法，包括以下步骤：a）打开主抽，在蝶阀满开时，设定气体A的质量流量计值为标准工艺参数下的流量nA；b）待气体稳定后，记录测量气体A的真空压力计压强PA；c）关闭气体A的质量流量计，用同样的方法设定气体B的质量流量计为标准工艺参数下的流量nB，待气体B稳定后，记录气体B的真空压力计压强为PB；d）记录气体流量比为Q=PA/PB；e）选择标准机台，在标准机台上通过上述步骤测得标准机台的两种气体的压强比值为标准Q值，记录为Q标准；f）如果某一机台的折射率出现偏差，就将它的Q值修正为Q标准。通过该方法，克服了现有技术中PECVD流量计测量偏差较大，工艺的每层折射率不能精确控制的缺点。

主权项

1.一种质量流量计的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括以下步骤：a）打开机台的主抽，在蝶阀满开的情况下，设定气体A的质量流量计值为标准工艺参数下的流量nA；b）待气体稳定后，记录测量气体A的真空压力计的压强PA；c）然后，关闭气体A的质量流量计，用同样的方法设定气体B的质量流量计为标准工艺参数下的流量nB，待气体B稳定后，记录气体B的真空压力计压强为PB；d）记录气体流量比为Q = PA/PB；e）选择标准机台，在所述标准机台上通过上述步骤测得所述标准机台的两种气体的压强比值为标准Q值，记录为Q标准；f）如果某一个机台的折射率出现偏差，就将它的Q值修正为Q标准；g）在折射率出现偏差的机台上固定气体B的流量，通过步骤c）测试出PB；h）使所述出现偏差的机台的Q值等于Q标准，计算出气体A压强的计算值PA计算；i）关闭气体B，通入气体A，不断调整气体A的实际通入量，直至真空压力计测得的压强值等于PA计算，此时，气体A的流量就是修正后的流量。