[发明专利]一种真空镀膜机内腔清洁剂及其制备方法在审
申请号: | 201510723444.2 | 申请日: | 2015-10-29 |
公开(公告)号: | CN105754730A | 公开(公告)日: | 2016-07-13 |
发明(设计)人: | 句红兵;杨勇;李莉;荀涛;訾云旭;訾云海;张宝福 | 申请(专利权)人: | 云南汇恒光电技术有限公司 |
主分类号: | C11D1/66 | 分类号: | C11D1/66;C11D1/835;C11D3/20;C11D3/04;C11D3/22;C11D3/60 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 650114 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明涉及光学元件真空镀膜领域,尤其是一种光学真空镀膜机内腔清洁剂及其制备方法。这种清洁剂的特征在于,由一定重量份比的酸、络合剂、表面活性剂、水混合溶解而成。用此清洁剂清除光学元件真空镀膜机内腔及夹具沉积物时,反应易于控制、清洗效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 机内腔 清洁剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种真空镀膜机内腔清洁剂,其特征在于这种清洁剂包含酸、络合剂、表面活性剂、水,上述各组分的重量份比如下:酸 10~50份络合剂 10~30份表面活性剂 1~15份水 50~500份。
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