[发明专利]微机电系统控制阀以及控制敏感流体的方法

摘要

一种阀组件配置以调节流经的绝缘流体的流动，其包括：配置以控制流经第一流体电路的第一流体流动的第一阀阶段以及配置以控制流经第二流体电路的第二流体流动的第二阀阶段。所述第一阀阶段连接至所述第二阀阶段使得所述第一流体作用于所述第二阀阶段以使所述第二阀阶段在打开位置和关闭位置之间移动。流经所述第二阀阶段的所述第二流体与流经所述第一阀阶段的所述第一流体绝缘。

主权项

1.配置以调节流经的绝缘流体的流动的一种阀组件，所述阀组件包括：具有电子促动微阀并且配置以控制流经第一流体电路的第一流体流动的第一阀阶段；以及配置以控制流经第二流体电路的第二流体流动的第二阀阶段，所述第一阀阶段连接至所述第二阀阶段使得所述第一流体作用于所述第二阀阶段以使所述第二阀阶段在打开位置和关闭位置之间移动；以及连接体，所述第一阀阶段和所述第二阀阶段支撑在所述连接体上，所述连接体限定了所述第一阀阶段和所述第二阀阶段之间的流体流动路径；其中，所述电子促动微阀是电子促动的微机加工的滑动板微阀，其包括：第一板，其限定第一平面并包括表面、设置在该表面内的凹陷区域和设置在该凹陷区域内的流体口；第二板，其限定第二平面；其中，第二板具有面对第一板的表面的表面并且包括相对于第一板可滑动地移动的可移动构件，所述可移动构件的滑动运动发生在由第二板所限定的第二平面内且平行于由第一板所限定的第一平面；其中可移动构件可在关闭位置和打开位置之间移动；其中可移动构件通过脊骨附连到多个促动器肋，所述促动器肋与第二板一体形成，用于在可关闭和打开位置之间移动可移动构件，以及通过可移动促动器臂连接到第二板枢轴上的阀元件；其中，在关闭位置，阀元件与第一板配合以减少通过流体口的流体连通；以及其中，在打开位置，阀元件不与第一板的至少一部分配合以减少通过流体口的流体连通；其中流经所述第二阀阶段的所述第二流体与流经所述第一阀阶段的所述第一流体绝缘；其中，所述第二阀阶段包括第一端和第二端，形成于所述第二阀阶段的所述第二端的活塞室，以及形成于所述活塞室壁中的环形阀座；其中，第一流体通道从所述第二阀阶段的所述第一端延伸至所述活塞室内的阀座并限定流体入口；其中，活塞限定了阀关闭元件，被可滑动地安装于所述活塞室内且在打开位置和关闭位置之间可移动，在打开位置，所述第二流体被允许流经第二阀阶段，在关闭位置，所述第二流体被阻止流经第二阀阶段；并且其中，环形通道形成于第二阀阶段围绕所述第一流体通道并且由限定了流体出口的第一端延伸至通往活塞室的第二端。