[发明专利]一种硅片喷砂机在审

专利信息
申请号: 201510727155.X 申请日: 2015-10-30
公开(公告)号: CN105215860A 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 陈小力;张光法 申请(专利权)人: 浙江辉弘光电能源有限公司
主分类号: B24C3/04 分类号: B24C3/04;B24C9/00
代理公司: 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人: 胡根良
地址: 314200 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种硅片喷砂机,解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。本发明提供的一种硅片喷砂机,箱体上开设有放置亚克力板的装配槽,亚克力板放置在装配槽内以后由压紧框对亚克力板进行压紧,亚克力板上卡接有密封圈以提高亚克力板的密封性能,密封圈可以避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境,长期使用后,封闭观察窗口的亚克力板上可能积聚较多的杂物,影响操作人员的视线,此时,操作人员可以方便地松开压紧框,然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗,清洗完毕后再将亚克力板装配至装配槽内,操作方便。
搜索关键词: 一种 硅片 喷砂机
【主权项】:
一种硅片喷砂机,其特征在于:包括箱体(1),所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(2)和下腔(3)的隔板(4),所述隔板(4)上开设有排砂口(5),所述箱体(1)上开设有取放窗口(6),所述箱体(1)上还开设有观察窗口(7),所述取放窗口(6)和观察窗口(7)均与上腔(2)相通,所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(7)的亚克力板(8),所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9),所述箱体(1)上开设有放置亚克力板(8)的装配槽(10),所述装配槽(10)内固定有将亚克力板(8)压紧在装配槽(10)内的压紧框(11),所述压紧框(11)通过压紧螺钉固定在箱体(1)上,所述亚克力板(8)上卡接有密封圈(12),所述密封圈(12)上开设有与亚克力板(8)配合的卡槽,所述卡槽的侧壁与亚克力板(8)之间涂设有粘接层,所述亚克力板(8)上还固定有便于取下亚克力板(8)的提手(13);所述密封板(9)通过合页(14)转动连接在箱体(1)上,所述密封板(9)上设有与取放窗口(6)配合的凸块(15),所述凸块(15)与密封板(9)为一体式结构,所述取放窗口(6)的侧壁上卡接有密封垫圈(16),所述密封垫圈(16)上开设有卡口,所述卡口的侧壁与取放窗口(6)的侧壁之间涂有粘接层,所述密封板(9)上固定有便于打开密封板(9)的把手(17);该硅片喷砂机还包括喷枪(18),所述喷枪(18)位于上腔(2)内,所述下腔(3)内固定有喷砂器(19),所述排砂口(5)与喷砂器(19)之间通过排砂管(20)连接,所述喷砂器(19)通过喷砂管(21)与喷枪(18)连接,所述隔板(4)上开设有穿设喷砂管(21)的通孔,所述喷砂器(19)包括控制开关(22),所述控制开关(22)位于上腔(2)内,所述控制开关(22)固定在隔板(4)上,所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(23),所述手持窗口(23)上固定有封闭手持窗口(23)的手套(24),所述手套(24)位于上腔(2)内。
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