[发明专利]一种可接收移动排废口废液的封闭装置有效
申请号: | 201510731568.5 | 申请日: | 2015-11-02 |
公开(公告)号: | CN106653649B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 郑云龙 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 白振宇 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及生产过程中产生废液的收集装置,具体地说是一种可接收移动排废口废液的封闭装置,接液盒的两端分别转动连接有端部密封片,废液管固定板位于两端端部密封片之间,在废液管固定板上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块;废液管固定板两侧与每端端部密封片之间均设有多个限位密封片及多个转动密封片,每侧的各限位密封片与转动密封片均间隔布置,废液管固定板的两侧均通过下转动轴转动连接限位密封片,每端端部密封片的另一端均通过上转动轴转动连接限位密封片;废液管固定板及废液管夹紧块随废液管移动,并将相对转动转变为废液管夹紧块与废液管的同步水平移动。本发明可接收上方移动废液口的废液,避免废液挥发到工作腔体内。 | ||
搜索关键词: | 一种 接收 移动 排废口 废液 封闭 装置 | ||
【主权项】:
1.一种可接收移动排废口废液的封闭装置,其特征在于:包括接液盒(1)、端部密封片(2)、限位密封片(3)、转动密封片(4)、废液管固定板(8)及废液管夹紧块(9),其中接液盒(1)的两端分别设有端部密封片(2),两端所述端部密封片(2)的一侧均转动连接在接液盒(1)上,所述废液管固定板(8)位于两端所述端部密封片(2)之间,在该废液管固定板(8)上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块(9);所述废液管固定板(8)两侧与每端所述端部密封片(2)之间均设有多个限位密封片(3)及多个转动密封片(4),每侧的各限位密封片(3)与转动密封片(4)均间隔布置,所述废液管固定板(8)的两侧均通过下转动轴(7)转动连接限位密封片(3),每端所述端部密封片(2)的另一端均通过上转动轴(6)转动连接限位密封片(3),相邻的所述限位密封片(3)与转动密封片(4)之间通过所述上转动轴(6)或下转动轴(7)转动连接;所述废液管固定板(8)及废液管夹紧块(9)随所述废液管移动,进而带动所述限位密封片(3)与转动密封片(4)之间及端部密封片(2)与限位密封片(3)之间相对转动,并将相对转动转变为所述废液管夹紧块(9)与所述废液管的同步水平移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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