[发明专利]处理装置以及处理方法

摘要

实施方式的处理装置具备：收纳氢氟酸缓冲液的收纳部；使用上述氢氟酸缓冲液进行处理物的处理的处理部；将上述收纳部所收纳的上述氢氟酸缓冲液向上述处理部供给的供给部；将在上述处理部中使用过的上述氢氟酸缓冲液回收而向上述收纳部供给的回收部；对上述氢氟酸缓冲液的蒸发量进行运算的运算部；以及将包含氨和水在内、与上述运算出的氢氟酸缓冲液的蒸发量相同量的补充液向上述氢氟酸缓冲液供给的补充液供给部。

主权项

1.一种处理装置，具备：收纳部，收纳氢氟酸缓冲液；处理部，使用上述氢氟酸缓冲液来进行处理物的处理；供给部，将上述收纳部所收纳的上述氢氟酸缓冲液向上述处理部供给；回收部，将在上述处理部中使用过的上述氢氟酸缓冲液回收而向上述收纳部供给；运算部，对上述氢氟酸缓冲液的蒸发量进行运算；以及补充液供给部，基于由运算部求出的氢氟酸缓冲液的蒸发量，将包含氨和水的补充液向上述氢氟酸缓冲液供给，上述补充液的氨的浓度是2wt％以上且4wt％以下。