[发明专利]固态摄像装置及固态摄像装置的制造方法

摘要

实施方式的固态摄像装置及固态摄像装置的制造方法具备半导体层、像素晶体管的栅极、周边电路晶体管的栅极、氮化硅膜、及侧壁。在半导体层设置有光电二极管与浮动扩散体。像素晶体管的栅极隔着栅极氧化膜设置于半导体层的表面。周边电路晶体管的栅极隔着栅极氧化膜设置于半导体层的表面。氮化硅膜隔着栅极氧化膜设置于半导体层中的光电二极管的上表面。侧壁设置于除像素晶体管的栅极的光电二极管侧的侧面以外的至少一个侧面。

主权项

一种固态摄像装置，其特征在于具备：半导体层，设置有光电二极管与浮动扩散体；像素晶体管的栅极，隔着栅极氧化膜设置于所述半导体层的表面；周边电路晶体管的栅极，隔着所述栅极氧化膜设置于所述半导体层的表面；氮化硅膜，隔着所述栅极氧化膜设置于所述半导体层中的所述光电二极管的上表面；以及侧壁，设置于所述像素晶体管的栅极的两侧面及所述周边电路晶体管的栅极的两侧面中、除所述像素晶体管的栅极的所述光电二极管侧的侧面以外的至少一个侧面。