[发明专利]薄膜剥离装置及其方法有效
| 申请号： | 201510743054.1 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105252880B | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡镇竹;龚志伟;吴政哲;吕嘉华 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可挠薄膜的剥离装置，该剥离装置包含吸附膜、模具以及弹性膜。前述吸附膜用以附着于该可挠薄膜或该基板之上，前述模具具有弧型表面，前述弹性膜用以固定并施力于该吸附膜以使该可挠薄膜或该基板被挠曲而使该可挠薄膜与该基板分离。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 剥离 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可挠薄膜的剥离装置，适于一基板，该基板表面具有可挠薄膜，其特征在于，该装置包含：吸附膜，用以附着于该可挠薄膜或该基板之上；以及吸附组件，用以施力于该吸附膜，从而使该可挠薄膜或该基板产生形变而使该可挠薄膜与该基板分离，该吸附组件具有弧状表面，该吸附组件的材料为弹性材料。
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