[发明专利]表面形貌测量教学仪及采用该教学仪测量表面形貌的方法在审
| 申请号： | 201510745422.6 | 申请日： | 2015-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN105423962A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 胡皓胜;王艺桥;单旭晨;刘书钢 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 表面形貌测量教学仪及采用该教学仪测量表面形貌的方法，涉及表面形貌测量技术。它为了解决现有测量物体形貌的工具精度低、以及功能单一，无法满足教学过程中的多种实验的问题。该教学仪的可滑动探针呈竖直方向，平面反射镜固定在可滑动探针的顶部、且与可滑动探针垂直；激光器发出的激光经平面反射镜反射后进入四象限探测器的探测面。在可滑动探针下方放置待测样品，并使可滑动探针与待测样品接触；匀速移动待测样品，使可滑动探针与待测样品产生相对滑动，完成扫描，根据扫描结果获得待测样品的表面形貌。本发明结构简单、成本低，且测量结果精确度高，可用于开展光电子器件等光学专业课程的基础及深入内容的课堂教学演示。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量 教学 采用 方法 | ||
【主权项】：
表面形貌测量教学仪，其特征在于，它包括激光器(1)、平面反射镜(2)、可滑动探针(3)和四象限探测器(4)；可滑动探针(3)呈竖直方向，平面反射镜(2)固定在可滑动探针(3)的顶部、且与可滑动探针(3)垂直；激光器(1)发出的激光经平面反射镜(2)反射后进入四象限探测器(4)的探测面。
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