[发明专利]一种MEMS陀螺仪及其制造工艺有效
| 申请号： | 201510745602.4 | 申请日： | 2015-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN106546232B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 李航;孙晨;赵琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪及其制造工艺，陀螺仪包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体包括框架、设置在所述框架内的质量块组以及与所述框架相连接的扭转梁；所述质量块组通过连接梁与所述框架以及所述扭转梁相连接；其中，每个所述质量块组包括第一质量块以及第二质量块，所述第一质量块和所述第二质量块之间相互并列设置；所述质量块组与所述框架之间形成有梳齿结构，所述梳齿结构驱动所述质量块组振动。本陀螺仪具有灵敏度高、检测精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，其特征在于，所述测量体包括框架、设置在所述框架内的质量块组以及与所述框架相连接的扭转梁；所述质量块组通过连接梁与所述框架以及所述扭转梁相连接；其中，所述质量块组包括第一质量块以及第二质量块，所述第一质量块和所述第二质量块之间相互并列设置；所述质量块组与所述框架之间形成有梳齿结构，所述梳齿结构驱动所述质量块组振动；所述梳齿结构分别向所述第一质量块和所述第二质量块施加同频率同幅度反方向的驱动信号。
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