[发明专利]制造硅锭的方法和硅锭在审

专利信息
申请号: 201510747632.9 申请日: 2015-11-06
公开(公告)号: CN105586633A 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: N.卡斯帕里;H-J.舒尔策 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: C30B15/04 分类号: C30B15/04;C30B29/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 王岳;张涛
地址: 德国瑙伊比*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 制造硅锭的方法和硅锭。一种硅锭的丘克拉斯基生长方法包括在坩埚中将硅材料与n型掺杂剂材料的混合物熔化。在提取时间段期间从熔融硅提取硅锭。在提取时间段的至少一个子时段期间用附加n型掺杂剂材料来掺杂该硅锭。
搜索关键词: 制造 方法
【主权项】:
一种硅锭的丘克拉斯基生长的方法,该方法包括:在坩埚中将硅材料和n型掺杂剂材料的混合物熔化;在提取时间段期间从熔融硅提取硅锭;以及在提取时间段的至少一个子时段期间用附加n型掺杂剂材料来掺杂硅锭。
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