[发明专利]一种离子束双过滤沉积技术制备手机屏幕抗划伤氧化铝涂层的方法

摘要

本发明公开了一种在玻璃上沉积Al₂O₃膜的方法及适用于手机屏幕表面镀膜。其中，具体涉及一种磁过滤等离子体沉积法制备Al₂O₃薄膜技术，该Al₂O₃膜结构包括离子注入钉扎层以及Al₂O₃膜层。本发明的目的是结合离子注入技术、磁过滤技术和阴极弧沉积技术制备的Al₂O₃膜具有高结合力，并通过控制沉积过程中的弧流强度、弯管磁场强度以及氧气的进气量，优化Al₂O₃的厚度、硬度、耐磨性、抗腐蚀性和透光性，制备优质的Al₂O₃膜来代替蓝宝石手机屏幕。本发明所使用的是双磁过滤等离子体沉积设备，设备操作简单，工艺成熟，可实现批量生产，适合电子产品屏幕保护上的应用。

主权项

1.一种离子束双过滤沉积技术制备手机屏幕抗划伤氧化铝涂层的方法，其特征为：(a)采用金属真空蒸汽离子源(MEVVA)注入方法，在玻璃表面注入金属元素，形成金属“钉扎层”，注入剂量为200‑500mc，注入能量为6‑12kV；(b)在所述金属“钉扎层”之上，采用双磁过滤金属真空弧沉积(FCVA)系统，沉积得到膜层为α‑Al₂O₃膜，硬度为12‑23GPa，同时膜层结构包括离子注入钉扎层和Al₂O₃膜层。