[发明专利]一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜在审
| 申请号： | 201510755115.6 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN105258635A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 曲艺;武东城;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑和镜头组分；干涉仪发出可见光波段任一波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在镜头组分参考面的球心位置。镜头组分为透明玻璃，数量为3-5片不同于现有商业化产品只工作在单波长即632.8nm的特点，宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜可工作于可见光波段的任一波长，满足4英寸至12英寸不同入射口径菲索激光干涉仪的使用要求，扩展单波长标准参考镜的检测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波段 激光 干涉仪 标准 参考 | ||
【主权项】：
一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜，其特征在于，所述参考镜包括：光阑和镜头组分；干涉仪发出任一可见光波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光汇聚在镜头组分参考面的球心位置，所述镜头组分为透明玻璃，数量为3‑5片。
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