[发明专利]基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统

摘要

本发明公开了一种基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统，用以提高搬运效率和生产效率。基板位置偏移检测及校正装置包括第一非接触式传感器和第二非接触式传感器，用于当基板搬运系统内的末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，实时采集待搬运基板的第一边缘的信息；控制器，用于判断第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若非同时，根据两个非接触式传感器分别检测到第一边缘后反馈的信号的时间差计算得到第一边缘与两个非接触式传感器连线之间的夹角值，并根据夹角值控制机器人本体绕其轴线旋转。另外上述检测装置还包括：第三非接触式传感器。

主权项

一种基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，还包括：设置于搬运系统的末端执行器上的第一非接触式传感器和第二非接触式传感器，当末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器用于实时采集待搬运基板的第一边缘的信息，其中：第一非接触式传感器和第二非接触式传感器与机器人本体之间的距离相等，所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间具有设定距离；控制器，用于当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器停止运动，并判断所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器非同时采集到第一边缘的信息时，根据所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器分别检测到所述第一边缘后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间的设定距离，得到所述待搬运基板的第一边缘与所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值，并根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转。