[发明专利]使用自组装图案形成存储电容器结构的方法

摘要

一种使用自组装图案形成存储电容器结构的方法。本发明描述了电容器结构及在衬底上形成所述电容器结构的方法。所述电容器结构包括具有形成在绝缘保持材料内的多个电容器电极的衬底，以及与所述多个电容器电极接触的项圈层结构，其中所述项圈层结构与多个电容器电极互连并且穿过具有无引导、随机自组装图案的开口使下面的绝缘保持材料露出。此外，可以将绝缘保持材料从电容器结构中去除。所述方法包括使用自组装工艺来形成互连的项圈层结构。

主权项

一种形成电容器结构的方法，包括：提供具有形成在绝缘保持材料内的多个电容器电极的衬底，所述衬底还包括与所述多个电容器电极接触的项圈层；在所述项圈层上制备自组装聚合物层，所述自组装聚合物层具有与第二域呈相分离的第一域；选择性地去除所述自组装聚合物层的所述第一域，同时保留所述自组装聚合物层的所述第二域，以在所述衬底上形成无引导、随机的自组装图案；以及将所述无引导、随机的自组装图案转移至所述项圈层中并且贯穿所述项圈层，以生成与所述多个电容器电极互连的项圈层结构，所述项圈层结构具有穿过所述项圈层结构的使下面的绝缘保持材料露出的开口。