[发明专利]一种晶圆减薄高温临时粘结剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201510768228.X | 申请日： | 2015-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105238338A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 薛兴旺;王建斌;陈田安;解海华 | 申请（专利权）人： | 烟台德邦科技有限公司 |
| 主分类号： | C09J179/08 | 分类号： | C09J179/08;C09J11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆减薄高温临时粘结剂，按质量份计，由以下原料组成：溶剂65～85份、芳香族四羧酸二酐10～25份、芳香族二胺1~10份、抗氧剂0.01～0.5份、流平剂0.01～0.5份；本发明制备的晶圆减薄临时粘结剂，具有优异的流变性能，热稳定性高，抗腐蚀性强等优点，适用于晶圆减薄加工温度≥240℃的加工工艺的临时粘接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆减薄 高温 临时 粘结 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆减薄高温临时粘结剂，其特征在于，按质量份计，由以下原料组成：溶剂65～85份、芳香族四羧酸二酐10～25份、二元胺1~10份、抗氧剂0.01～0.5份、流平剂0.01～0.5份。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09J 黏合剂；一般非机械方面的黏合方法；其他类目不包括的黏合方法；黏合剂材料的应用
C09J179-00 基于在C09J 161/00至C09J 177/00组中不包括的，由只在主链中形成含氮的，有或没有氧或碳的键的反应得到的高分子化合物的黏合剂
C09J179-02 .聚胺
C09J179-04 .在主链中具有含氮杂环的缩聚物；聚酰肼；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
C09J179-06 ..聚酰肼；聚三唑；聚氨基三唑；聚二唑
C09J179-08 ..聚酰亚胺；聚酯-酰亚胺；聚酰胺-酰亚胺；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
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