[发明专利]一种IC塑封残余应力的观测比较方法

摘要

本发明涉及一种IC塑封残余应力的观测比较方法，包括以下步骤：(1)塑封材料选取：根据相似定理，选取合适的透明塑封材料代替原有色料，建立物理相似模型；(2)塑封：采用原有色料的塑封工艺，利用所选取的透明塑封材料在塑封压机上完成塑封；(3)采集应力偏光图：在塑封压机上完成塑封后，采用应力偏光仪对塑封后封装体应力偏光图进行采集；(4)比较不同条件下的应力偏光图色度及试件应力的变化情况；(5)利用相似理论近似计算原有色料残余应力；本发明能够直观地观测到残余应力的分布，并比较不同条件下的残余应力的大小及其随其他条件的变化规律，可用于研究改进工艺方案和模具结构，提高塑封质量及效率。

主权项

一种IC塑封残余应力的观测比较方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)塑封材料选取：根据相似定理，选取合适的透明塑封材料代替原有色料，建立物理相似模型，该透明塑封材料与原有色料的性能参数相似、组成成分相同；(2)塑封：采用原有色料的塑封工艺，利用所选取的透明塑封材料在塑封压机上完成塑封；(3)采集应力偏光图：在塑封压机上完成塑封后，采用应力偏光仪对塑封后封装体应力偏光图进行采集；(4)比较不同条件下的应力偏光图色度及试件应力的变化情况：将采集的应力偏光图按工艺条件命名排列，利用图像处理软件观测应力偏光图中应力变化，基于光弹性理论和图像处理技术，采集应力偏光图上各颜色处RGB值，建立应力偏光图RGB值与对应应力的数据库，通过应力偏光图色度的变化观测工艺参数对残余应力的影响规律；(5)利用相似理论近似计算原有色料残余应力：建立相似模型中残余应力数值的近似计算公式，记原有色料最大残余应力为σ_ys，热膨胀系数为(CTE)_ys，相似透明材料最大残余应力为σ_ws，热膨胀系数为(CTE)_ws，近似计算公式为将采集的RGB值导入上述应力偏光图RGB值与对应应力的数据库中，获得具体应力值，通过相似计算公式获得原有色料的应力值，观测并比较不同条件下的残余应力变化情况。