[发明专利]惯性传感器的制造方法以及惯性传感器有效
| 申请号： | 201510770845.3 | 申请日： | 2015-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105628973B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫;成瀬敦纪;高木成和 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02;G01C19/00 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;范文萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够抑制密封材料附着在可动体上的惯性传感器的制造方法以及惯性传感器。在本发明所涉及的惯性传感器的制造方法中，惯性传感器包括被配置在由基体与盖体形成的空腔内的可动体，在基体上形成有配线的配线槽，配线槽与空腔连通，配线与可动体电连接，惯性传感器的制造方法包括：通过湿蚀刻而在盖体上形成未贯穿的第一开口部的工序(S4)；对基体与盖体进行接合从而将可动体收纳在空腔中的工序(S6)；在对可动体进行收纳的工序之后，形成对配线槽进行密封的第一密封材料的工序(S8)；在形成第一密封材料的工序之后，通过干蚀刻而使第一开口部贯穿从而形成与空腔连通的贯穿孔的工序(S10)；形成对贯穿孔进行密封的第二密封材料的工序(S12)。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种惯性传感器的制造方法，其中，所述惯性传感器包括被配置在由基体与盖体形成的空腔内的可动体，在所述基体上形成有配线的配线槽，该配线槽与所述空腔连通，该配线与所述可动体电连接，所述惯性传感器的制造方法包括：通过湿蚀刻而在所述盖体上形成未贯穿的第一开口部的工序；对所述基体与所述盖体进行接合，从而将所述可动体收纳在所述空腔中的工序；在对所述可动体进行收纳的工序之后，形成对所述配线槽进行密封的第一密封材料的工序；在形成所述第一密封材料的工序之后，通过干蚀刻而使所述第一开口部贯穿，从而形成与所述空腔连通的、具有如下的第一部分和第二部分的贯穿孔的工序,其中，所述第一部分的开口面积从所述空腔侧趋向于所述空腔的相反侧而渐增，所述第二部分位于与所述第一部分相比靠所述空腔的相反侧的位置处，并与所述第一部分连通，且具有与所述第一部分的最大开口面积相比较大的面积；形成对所述贯穿孔进行密封的第二密封材料的工序。
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