[发明专利]光配向光罩有效
| 申请号： | 201510771809.9 | 申请日： | 2015-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105259710B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张伟基 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光配向光罩，包括邻接交替设置的第一区和第二区，所述第一区包括相互平行的第一面和第二面，当照射光从第一照射方向进入所述光配向光罩时，所述照射光由所述第一面射入所述第一区且自所述第二面射出第一配向光，所述第二区射出第二配向光，所述第一配向光的方向与所述第一照射方向一致，所述第二配向光的方向与所述第一照射方向相对于所述第二面对称。本发明所述光配向光罩可以同时提供双向的配向光。 | ||
| 搜索关键词： | 光配向光罩 | ||
【主权项】：
1.一种光配向光罩，其特征在于，包括邻接交替设置的第一区和第二区，所述第一区包括相互平行的第一面和第二面，当照射光从第一照射方向进入所述光配向光罩时，所述照射光由所述第一面射入所述第一区且自所述第二面射出第一配向光，所述第二区射出第二配向光，所述第一配向光的方向与所述第一照射方向一致，所述第二配向光的方向与所述第一照射方向相对于所述第二面对称，所述第二区包括重复设置的多个棱镜单元，所述棱镜单元为三棱柱，所述三棱柱的两个底面均邻接相邻的所述第一区设置，所述三棱柱的侧面包括首尾相连的入射面、反射面和折射面，所述入射面垂直于所述第一照射方向设置，所述反射面上设置有反射膜层，所述照射光由所述入射面射入所述棱镜单元，然后依次在所述折射面上被全反射、在所述反射面上被反射，最后由所述折射面射出所述第二配向光。
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