[发明专利]反应腔室

摘要

本发明提供一种反应腔室，包括基座和工件检测装置，其中，基座包括用于承载托盘的承载面，该托盘用于承载至少一个被加工工件。工件检测装置用于检测基座上是否放置有托盘，并发出有关是或者否的数字信号。本发明提供的反应腔室，其可以通过直接读取该数字信号就可以判断出基座上是否放置有托盘，从而即使软件系统突发故障或异常等情况，仍然可以准确并及时地判断反应腔室内是否有托盘，进而可以提高设备的可靠性。

主权项

1.一种反应腔室，包括基座，所述基座包括用于承载托盘的承载面，所述托盘用于承载至少一个被加工工件，其特征在于，还包括工件检测装置，所述工件检测装置用于检测所述基座上是否放置有所述托盘，并发出有关是或者否的数字信号；所述工件检测装置包括探针、压缩弹簧和检测开关，其中，所述检测开关包括静触点和动触点，二者在相接触时发出有关是的数字信号，在相分离时发出有关否的数字信号；在所述基座的承载面上设置有贯穿其厚度的第一通孔，所述探针位于所述第一通孔内，且与所述动触点连接；所述压缩弹簧用于承载所述探针；当所述基座上没有所述托盘时，所述压缩弹簧处于原始状态，所述探针的上端高于所述承载面，所述动触点位于与所述静触点相分离的位置处；当所述基座上有所述托盘时，所述托盘利用自身重力向下压住所述探针，所述探针带动所述动触点下移至与所述静触点相接触的位置处，同时所述压缩弹簧被压缩。