[发明专利]一种全自动探针台图像定位系统

摘要

本发明涉及一种全自动探针台图像定位系统，为了解决探针台能够自主完成焊盘与探针的精密对位，提高探针台的自动化水平，减轻操作人员劳动强度，包括具有相对位移关系的第一相机模块和第二相机模块，以及接受分析第一相机模块和第二相机模块所发出的图像信息的计算机，其特征是第二相机模块在XY平台上做x、y方向直线运动，同时设有与第二相机模块做同步运动的标定块，相对XY平台处于固定位置的控针卡；由第一相机模块完成拍摄晶圆焊盘图像任务；由第二相机模块完成拍摄探针卡针尖图像任务；由标定块来确定第一相机模块与第二相机模块的位置关系。对针速度快，精度高，结构紧凑，适用于大规模流水线作业。

主权项

一种全自动探针台图像定位系统，包括具有相对位移关系的第一相机模块（9）和第二相机模块（4），以及接受分析第一相机模块和第二相机模块所发出的图像信息的计算机，其特征是所述的第二相机模块在XY平台（2）上做x‑y方向直线运动，同时设有与第二相机模块做同步运动的标定块（5），相对XY平台处于固定位置的控针卡（6）；由第一相机模块完成拍摄晶圆（8）焊盘图像任务；由第二相机模块完成拍摄探针卡针尖图像任务；由标定块来确定第一相机模块与第二相机模块的位置关系。