[发明专利]阀门机构及半导体加工设备

摘要

本发明提供一种阀门机构及半导体加工设备，其用于开启或封闭腔室的阀口，包括阀板以及用于驱动该阀板上升或下降的驱动装置，其中，阀板设置在腔室的内部，且阀板与阀口分别具有倾斜的对接面，阀板的对接面与阀口的对接面相互平行。阀板通过上升或下降使其对接面与阀口的对接面相接触或相分离，以实现阀口的开启或封闭。本发明提供的阀门机构，其可以在腔室体积不变的前提下，减小半导体加工设备的整体体积，同时使腔室布局更为紧凑。

主权项

1.一种阀门机构，用于开启或封闭腔室的阀口；其特征在于，包括阀板以及用于驱动所述阀板上升或下降的驱动装置，其中，所述阀板设置在所述腔室的内部，且所述阀板与所述阀口分别具有倾斜的对接面，所述阀板的对接面与所述阀口的对接面相互平行，且所述阀板的对接面位于所述阀口的对接面下方；所述阀板通过上升或下降使其对接面与所述阀口的对接面相接触或相分离，以实现所述阀口的开启或封闭；所述驱动装置包括升降轴和气缸，其中，所述升降轴竖直设置，所述升降轴的下端与所述气缸连接；所述气缸用于驱动所述升降轴上升或下降；所述阀门机构还包括安装部件和波纹管组件，其中，在所述腔室底部的腔室壁上设置有沿其厚度方向贯穿的第一通孔，所述安装部件与所述腔室底部的腔室壁密封连接，且在所述安装部件的顶部设置有安装凹槽，所述安装凹槽与所述第一通孔对接，且在所述安装部件中，且位于所述安装凹槽内设置有贯穿其底部厚度的第二通孔；所述气缸位于所述安装部件的外部，且固定在所述安装部件的底部；所述升降轴的下端依次经由所述第一通孔和第二通孔延伸至所述腔室的外部，并与所述气缸连接；所述波纹管组件位于所述安装凹槽内，且套设在所述升降轴上，用以对所述升降轴与所述第二通孔之间的间隙进行密封。