[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 201510781930.X | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105301904A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;任鲁风;殷金龙 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/022;G03F7/004 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶组合物及其制备方法。所述组合物包括：聚醚改性的有机硅流平剂、溶剂、光活性物质、有机酸、树脂和颜料分散体。所述制备方法包括：取溶剂溶解光活性物质，搅拌均匀，得到光活性物质溶液；加入有机酸；升温，加入聚醚改性的有机硅流平剂、树脂和颜料分散体，恒温混合均匀；升温，恒温搅拌两小时以除去溶剂，得到光刻胶组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶组合物，其特征在于，所述组合物包括：聚醚改性的有机硅流平剂、溶剂、光活性物质、有机酸、树脂和颜料分散体。
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