[发明专利]一种正性光刻胶组合物的制备方法在审
| 申请号： | 201510781931.4 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105301901A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;任鲁风;殷金龙 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种正性光刻胶组合物的制备方法，包括以下步骤（1）取溶剂溶解光活性物质，搅拌均匀，得到光活性物质溶液；（2）光活性物质溶液升温至50-54℃，加入聚醚改性的有机硅流平剂和树脂，恒温混合均匀；（3）升温至80-83℃，恒温搅拌两小时以除去溶剂，得到光刻胶组合物。本发明制备的正性光刻胶有很高的感光速度，光刻得到的图像分辨率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种正性光刻胶组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）取溶剂溶解光活性物质，搅拌均匀，得到光活性物质溶液；（2）光活性物质溶液升温至50‑54℃，加入聚醚改性的有机硅流平剂和树脂，恒温混合均匀；（3）升温至80‑83℃，恒温搅拌两小时以除去溶剂，得到光刻胶组合物。
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