[发明专利]磁控管的安装机构及磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201510784944.7 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106702336B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 邓玉春 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的磁控管的安装机构及磁控溅射设备，其包括轴承组件、轴承底座、轴承固定座和压紧块，其中，轴承组件用于支撑传动轴。轴承底座用于固定轴承组件。轴承固定座固定在绝缘腔的顶壁上，且套在轴承底座上，并且轴承固定座与轴承底座螺纹连接。通过调节轴承底座与轴承固定座在竖直方向上的相对旋合位置，来调整轴承底座相对于绝缘腔的顶壁的高度。压紧块与轴承固定座螺纹连接，且位于轴承底座的上方，用以在完成对轴承底座与轴承固定座在竖直方向上的相对旋合位置的调节之后，压紧轴承底座。本发明提供的磁控管的安装机构，其可以实现靶间距的无级调节，且无需打开绝缘腔，也无需装卸磁控管，调节过程简单、保证了工艺的连续性。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承底座 轴承固定座 磁控管 安装机构 绝缘腔 磁控溅射设备 螺纹连接 轴承组件 压紧块 顶壁 竖直 旋合 固定轴承组件 支撑传动轴 无级调节 压紧轴承 套在 底座 装卸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种磁控管的安装机构，用于将传动轴竖直安装在绝缘腔的顶壁上，所述传动轴的下端延伸至所述绝缘腔内，在所述绝缘腔的底部设置有靶材，所述磁控管固定在所述传动轴的下端，且位于所述靶材上方，其特征在于，所述安装机构包括轴承组件、轴承底座、轴承固定座和压紧块，其中，所述轴承组件用于支撑所述传动轴；所述轴承底座用于固定所述轴承组件；所述轴承固定座固定在所述绝缘腔的顶壁上，且套在所述轴承底座上，并且所述轴承固定座与所述轴承底座螺纹连接；通过调节所述轴承底座与所述轴承固定座在竖直方向上的相对旋合位置，来调整所述轴承底座相对于所述绝缘腔的顶壁的高度；所述压紧块与所述轴承固定座螺纹连接，且位于所述轴承底座的上方，用以在完成对所述轴承底座与所述轴承固定座在竖直方向上的相对旋合位置的调节之后，压紧所述轴承底座。
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