[发明专利]超结器件的终端保护结构

摘要

本发明公开了一种超结器件的终端保护结构，电流流动区的超结结构的P和N型柱都呈条形结构且平行，终端保护结构中一部分超结结构由电流流动区的P和N型柱沿长度方向延伸形成，终端保护结构中的另一部分超结结构由和电流流动区的P和N型柱平行的条形结构的第二P和N型柱交替排列而成。在过渡区中形成有场板和P型环；在电压承受区的最外端的形成有截止环。本发明终端保护结构的超级结构的P和N型柱都为不带转折的长条形，能提高器件的漏电特性和可靠性，能以最小的终端尺寸得到高的击穿电压。

主权项

1.一种超结器件的终端保护结构，超结器件的中间区域为电荷流动区，终端保护结构环绕于所述电荷流动区的外周，所述终端保护结构包括过渡区和电压承受区，所述过渡区位于所述电荷流动区和所述电压承受区之间；其特征在于：所述电荷流动区包含由形成于N型外延层中的交替排列的第一P型柱和第一N型柱组成的第一部分超结结构；在俯视面上，所述第一P型柱和所述第一N型柱都呈长条形且互相平行，各所述第一P型柱和所述第一N型柱都沿着长度方向延伸到所述电荷流动区的外侧的所述电压承受区中形成第二部分超结结构；由形成于所述N型外延层中的交替排列的第二P型柱和第二N型柱组成的第三部分超结结构，所述第三部分超结结构沿着所述第一P型柱的宽度方向从所述电荷流动区的外侧延伸到所述电压承受区中；所述第二P型柱和所述第二N型柱都呈长条形且互相平行，且所述第二P型柱和所述第一P型柱平行；所述第二部分超结结构和所述第三部分超结结构一起组成环绕在所述电荷流动区的外周的所述终端保护结构的超结结构，使所述终端保护结构的超结结构的所述第二部分超结结构和所述第三部分超结结构的P型柱和N型柱都为不带转折的长条形，从而提高所述超结器件的漏电特性；在所述过渡区中形成有场板和P型环，所述场板呈环形结构并环绕在所述电荷流动区的外周；所述P型环形成于所述N型外延层中，所述P型环呈环形结构并环绕在所述电荷流动区的外周；在所述电压承受区的最外端的所述N型外延层中形成有截止环，所述截止环呈环形结构并环绕在所述终端保护结构的超结结构的外周；在所述终端保护结构的超结结构还包括一条呈环状结构的第三P型柱，所述第三P型柱环绕在所述第二部分超结结构和所述第三部分超结结构的外周。