[发明专利]一种在环境透射电子显微镜中安装的气体电子衍射装置在审

专利信息
申请号: 201510786625.X 申请日: 2015-11-16
公开(公告)号: CN105223215A 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 邓昱;张诚平;孙敬方;董林;陈强;方江邻;高飞;汤常金;蔡宁生 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01N23/20 分类号: G01N23/20
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 卢亚丽
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种在透射电子显微镜中安装的气体电子衍射装置,用于在电子显微镜中原位探测气氛的成分及其分子结构性质。该装置包括以下部分:(1)放置于透射电境外的气体罐(压力可调节)及控制气体注入的快速响应针阀(电脑程序控制);(2)集成于电镜样品杆的气氛微束喷射管路;(3)集成于电镜样品杆端头的纳米压痕仪系统(可以10皮米量级精度三维移动压头),只不过本装置中压痕仪不再配置金刚石压头,而代之以气氛微束喷头,从而可以完成喷射微气体束的移动。采用本发明的装置能够原位精确移动这个气体束使其与电子束(直径为纳米尺寸)交汇,从而使在透射电镜中可以进行气体电子衍射测试。
搜索关键词: 一种 环境 透射 电子显微镜 安装 气体 电子衍射 装置
【主权项】:
一种在透射电子显微镜中安装的微气体束电子衍射装置,其特征是通过与电镜样品台兼容,用于在电子显微镜中原位探测气氛的电子衍射花样;它包括:(1)放置于透射电境外的气体罐及控制气体注入的快速响应针阀;(2)集成于电镜样品杆的气氛微束喷射管路;(3)集成于电镜样品杆端头的纳米压痕仪系统压痕仪配置气体喷头,从而完成喷射微气体束的移动;该装置通过环境透射电镜的样品台通道安装。
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