[发明专利]工件处理装置及方法

摘要

本发明是有关于一种工件处理装置与方法用于处理一翘曲的工件，该工件处理装置包含一座体、一载体、及一调整器。该载体具有一承载面与多数个吸附单元，每一该多数个吸附单元是设置于该载体内部；该调整器具有一调整面，该调整面具有至少一调整部凸设于该调整面上；该工件的第一面的是局部地接触该载体的该承载面；该调整器与该载体中的至少一者是可运动地连接该座体，而通过该调整器与该载体间可产生相对运动，而使该第一面较均匀地接触该承载面，使该工件成为一经调整的工件。

主权项

一种工件处理装置用于处理一翘曲的工件，该工件是板状并具有一第一面与一第二面，该工件是翘曲的并界定一凹陷部于该第二面，且靠近该工件的边缘的一区域界定一非工作区域；其特征在于，该工件处理装置包含：一座体；一载体，具有一承载面与多数个吸附单元，每一该多数个吸附单元是设置于该载体内部；以及一调整器，具有一调整面，该调整面具有至少一调整部凸设于该调整面上；其中，该工件的该第一面的是局部地接触该载体的该承载面；以及其中，该调整器与该载体中的至少一者是可运动地连接该座体，使该调整器与该载体间可产生相对运动，以使该调整面是面对该承载面与该第二面，并使该至少一调整部接触该第二面与该非工作区域并朝接近该承载面的一方向运动，而使该第一面较均匀地接触该承载面，使该工件成为一经调整的工件。