[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，不使每1脉冲的功率密度减半地将激光光线分支成多个而形成多个聚光点。激光加工装置的光学系统包含：以规定的重复频率振荡激光光线的脉冲激光振荡器；主偏振光束分光器；1/4波长板；将穿过1/4波长板的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线的光弹性调制元件；将由光弹性调制元件调制后的P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线分支的辅偏振光束分光器。光学系统还包含：使相对于由辅偏振光束分光器分支的P偏振光的脉冲激光光线的往路光路稍微倾斜的返路光路逆行的第1反射镜；使相对于由辅偏振光束分光器分支的S偏振光的脉冲激光光线的往路光路稍微倾斜的返路光路逆行的第2反射镜。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，该激光加工装置具有：脉冲激光振荡器，其以规定的重复频率振荡出脉冲激光光线；主偏振光束分光器，其配设在该脉冲激光振荡器的激光光线振荡方向下游侧；1/4波长板，其将穿过了该主偏振光束分光器的P偏振光的激光光线转换成圆偏振光；光弹性调制元件，其将穿过了该1/4波长板的激光光线调制成P偏振光激光光线和S偏振光激光光线；频率设定器，其设定该光弹性调制元件的调制频率；辅偏振光束分光器，其对由该光弹性调制元件调制后的P偏振光激光光线和S偏振光激光光线进行分支；第1逆行构件，其使相对于借助该辅偏振光束分光器而分支的P偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；第2逆行构件，其使相对于借助该辅偏振光束分光器而分支的S偏振光的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；以及聚光器，其配设于借助该第1逆行构件和该第2逆行构件而逆行的脉冲激光光线在穿过该1/4波长板从而被转换成S偏振光激光光线之后被该主偏振光束分光器反射后的路径中。