[发明专利]一种硅片切割液两级串联筛选回收槽在审

专利信息
申请号: 201510791327.X 申请日: 2015-11-17
公开(公告)号: CN105413306A 公开(公告)日: 2016-03-23
发明(设计)人: 朱琳 申请(专利权)人: 扬州市志高建筑防水材料有限公司
主分类号: B01D36/04 分类号: B01D36/04;B01D36/00;C10M175/00
代理公司: 无锡大扬专利事务所(普通合伙) 32248 代理人: 张望远
地址: 225600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种硅片切割液两级串联筛选回收槽,包括槽体和初选装置,所述初选装置设在槽体的入口处,所述槽体内由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽,且溢流槽内设有二级过滤装置,溢流槽的底部设有切割液出口;所述初选装置为截面是矩形的长条形,包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴,所述下壳体的底部设有粗液出口,所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮,上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口,且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头;所述溢流槽还设有二级过滤机构,所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。本发明能有效对切割液进行实时在线维护,以及对接近报废切割液进行聚乙二醇的回收再利用。
搜索关键词: 一种 硅片 切割 两级 串联 筛选 回收
【主权项】:
一种硅片切割液两级串联筛选回收槽,其特征在于:包括槽体和初选装置,所述初选装置设在槽体的入口处,所述槽体内由溢流隔板分割成沉降槽和溢流槽,且溢流槽内设有二级过滤装置,溢流槽的底部设有切割液出口;所述初选装置为截面是矩形的长条形,包括下壳体、上壳体和设在中间上下壳体中间的转轴,所述下壳体的底部设有粗液出口,所述上壳体设有与转轴平行相切的塑胶滚轮,上壳体还设有切割液进口和杂质颗粒出口,且该杂质颗粒出口的前端设有与转轴搭接的舌头;所述溢流槽还设有二级过滤机构,所述二级过滤机构包括网架和设在该网架上微孔滤膜。
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