[发明专利]循环过滤式的核孔膜蚀刻装置在审
| 申请号： | 201510794297.8 | 申请日： | 2015-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN105277419A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 莫丹;袁平;刘杰;梁伟;张瑞庆;李运杰;曹殿亮 | 申请（专利权）人： | 武威科近新发技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人： | 张真 |
| 地址： | 733021*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置,这种装置用于核孔膜批量蚀刻加工，主要应用领域包括核孔膜产品加工、核孔膜制备等。一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置，其主要特点在于包括有蚀刻槽管道连接加热槽的输入口，管道设有水路开关；加热槽的输出通过循环过滤机连接蚀刻槽，在加热槽内设有加热器，加热器监测蚀刻液温度的热敏探头设置在蚀刻槽中；配液槽内设有搅拌器，配液槽通过水路开关和加液过滤机管道连接蚀刻槽；补液槽内设有监测加热槽中浓度的浓度探头，补液槽向蚀刻槽中自动补给蚀刻液。该装置具有自动温度和浓度补偿，循环流动、自我清洁等优点，能够长期高效地进行核孔膜批量蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 过滤 核孔膜 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置，其特征在于包括有蚀刻槽管道连接加热槽的输入口，管道设有水路开关；加热槽的输出通过循环过滤机连接蚀刻槽，在加热槽内设有加热器，加热器监测蚀刻液温度的热敏探头设置在蚀刻槽中；配液槽内设有搅拌器，配液槽通过水路开关和加液过滤机管道连接蚀刻槽；补液槽内设有监测加热槽中浓度的浓度探头，补液槽向蚀刻槽中自动补给蚀刻液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武威科近新发技术有限责任公司，未经武威科近新发技术有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510794297.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
