[发明专利]一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置在审
| 申请号： | 201510800893.2 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105289214A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 丁继业;陈刚刚;王雄;谢余才;安百俊;袁佳新 | 申请（专利权）人： | 宁夏银星能源光伏发电设备制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/14 | 分类号： | B01D53/14;F23G7/06;B01D47/00 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 752100 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置。其特点是：包括硅烷燃烧塔，该硅烷燃烧塔的进风口通过管道与PECVD真空泵出风口连通，该硅烷燃烧塔的出风口通过管道与氨气喷淋吸收塔进风口连通，该氨气喷淋吸收塔的出风口通过管道与风机连通。本发明提供了一种太阳能光伏电池片生产过程中产生的氨气和硅烷混合废气综合处理装置，通过该氨气和硅烷废气综合处理装置，其优点是：(1)有效处理氨气废气，废气排放达到国家标准；(2)安全处理硅烷废气，废气排放达到国家标准；(3)整个处理过程无需人员操作，安全无害，结构简单，压损小；(4)不使用其他化学药剂，降低废气处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氨气 硅烷 混合 废气 综合 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种氨气和硅烷混合废气综合处理装置，其特征在于：包括硅烷燃烧塔，该硅烷燃烧塔的进风口通过管道与PECVD真空泵出风口连通，该硅烷燃烧塔的出风口通过管道与氨气喷淋吸收塔进风口连通，该氨气喷淋吸收塔的出风口通过管道与风机连通。
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