[发明专利]气体传感器有效
| 申请号： | 201510801122.5 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105606533B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 马藤·奥尔德森;埃里克·简·卢思;阿加塔·沙基奇 | 申请（专利权）人： | 恩智浦有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 荷兰埃因霍温高科*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一个例子公开了一种干涉仪设备，包括：具有第一反射率的第一面，具有第二反射率的第二面，位于第一面和第二面之间的空腔，该空腔具有被配置为接收物质的开口，电磁源输入区域被配置为接收电磁信号；电磁检测器输出区域被配置为输出响应于空腔内的物质而调制的电磁信号。另一个例子公开了一种方法，包括：制造具有第一反射率的第一面，制造具有第二反射率的第二面，该第二面相对于第一面设置，以便形成空腔，制造被配置为接收物质的开口，制造被配置为接收电磁信号的电磁源输入区域；制造被配置为输出响应于空腔内的物质而调制的电磁信号的电磁检测器输出区域。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种干涉仪设备，其特征在于，包括:具有第一反射率的第一面；具有第二反射率的第二面；空腔，该空腔在干涉仪内并被安排在第一面和第二面之间，所述第一面和第二面包括高折射率材料和低折射率材料的堆栈，所述第二面具有输入开口和输出开口，所述输入开口被配置为耦合来自外部环境的包含所涉物质的气体到空腔，所述输出开口被配置为允许干涉仪和空腔外部的环境之间的气体再循环,其中所述第二面的反射率小于所述第一面的反射率；电磁源输入区域，被配置为接收电磁信号；和电磁检测器输出区域，被配置为输出响应于所述空腔内物质而调制的电磁信号。
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