[发明专利]磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置及其抛光方法

摘要

本发明是一种磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置及其抛光方法，包括抛光盘公转机构和多磁极同步旋转驱动机构，抛光盘公转机构包括传动轴电机、传动轴、转接盘、偏心轴固定盘、杯形抛光盘、传动轴传动机构，多磁极同步旋转驱动机构包括偏心主轴、同步旋转驱动盘、柔性偏心转动轴、偏心套、磁极、偏心轴固定盘、主轴电机等，本发明不需采用循环装置对磁流变液进行更新，且加工过程中不需更换磁流变液，节省空间，一次加工可实现粗抛光到精抛光的全过程，所获工件表面一致性好，加工效率高，无表面和亚表面损伤，成本低，适合大直径光学元件的平面高效率超光滑均匀抛光加工。同时，本发明还适于光学平面材料的材料去除机理和亚表面损伤检测等试验研究。

主权项

一种磁流变柔性抛光垫的动态磁场自锐抛光装置，其特征在于包括抛光盘公转机构和多磁极同步旋转驱动机构，抛光盘公转机构包括有底座（39）、传动轴电机（37）、传动轴（13）、转接盘（11）、偏心轴固定盘（3）、杯形抛光盘（1）、传动轴传动机构，多磁极同步旋转驱动机构包括有偏心主轴（43）、同步旋转驱动盘（8）、柔性偏心转动轴（19）、偏心套（20）、磁极（21）、偏心轴固定盘（3）、主轴电机（17）、主轴传动机构，其中传动轴电机（37）固定在底座（39）上, 传动轴传动机构的主动传动件固定在传动轴电机（37）的输出轴上，传动轴传动机构的从动传动件与传动轴（13）连接，转接盘（11）同轴固定在传动轴（13）的上端面，偏心轴固定盘（3）同轴固定在转接盘（11）的上端面，杯形抛光盘（1）同轴固定在偏心轴固定盘（3）的上端面，多磁极同步旋转驱动机构中的主轴电机（17）固定在底座（39）上，主轴传动机构的主动传动件固定在主轴电机（17）的输出轴上，主轴传动机构的从动传动件与偏心主轴（43）连接，偏心主轴（43）装设在传动轴（13）所设的中空腔体内，同步旋转驱动盘（8）固定在传动轴（13）的上端，柔性偏心转动轴（19）安装于同步旋转驱动盘（8）的上端，偏心套（20）固定于偏心转动轴（19）上，磁极（21）固定于偏心套（20）内，且柔性偏心转动轴（19）装设在杯形抛光盘（1）所设的轴孔中。