[发明专利]真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室有效
| 申请号： | 201510805806.2 | 申请日： | 2008-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN105632859B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | J.维特 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康梅塔普拉斯有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 梁冰,宣力伟 |
| 地址： | 德国贝吉施*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空电弧蒸发源(1)，其包括环形的磁场源(2)和阴极体(3)，该阴极体(3)带有作为阴极(32)的蒸发材料(31)以用于在阴极(32)的蒸发表面(33)上产生电弧放电。此处，阴极体(3)沿轴向方向在第一轴向方向上由阴极底部(34)所限定且在第二轴向方向上由蒸发表面(33)所限定，并且，环形的磁场源(2)相对于蒸发表面(33)的面法线(300)平行或反平行地极化并相对于蒸发表面(33)的面法线(300)同心地布置。根据本发明，在背离蒸发表面(33)的一侧以可预定的第二距离(A2)在阴极底部(34)前布置有磁场增强环(4)。本发明还涉及带有电弧蒸发源(1)的电弧蒸发室(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电弧 蒸发 带有 | ||
【主权项】：
一种真空电弧蒸发源，包括环形的磁场源(2)和阴极体(3)，该阴极体(3)带有作为阴极(32)的蒸发材料(31)，用于在所述阴极(32)的蒸发表面(33)上产生电弧放电，其中，所述阴极体(3)沿轴向方向在第一轴向方向上由阴极底部(34)所限定且在第二轴向方向上由所述蒸发表面(33)所限定，并且，所述环形的磁场源(2)平行或反平行于所述蒸发表面(33)的面法线(300)地极化且同心于所述蒸发表面(33)的面法线(300)地布置，其中，在背离所述蒸发表面(33)的一侧以可预定的第二距离(A2)在所述阴极底部(34)前布置有磁场增强环(4)，其特征在于，所述磁场增强环(4)的内直径(DI)为所述阴极(32)的直径的3%，并且所述磁场增强环包括多个基本上平行于面法线而指向的永磁体，其中在背离所述蒸发表面(33)的一侧以可预定的第三距离(A3)在所述阴极底部(34)前布置有至少一个磁修正环(5)，其中所述磁修正环(5)平行或反平行于所述面法线(300)地极化。
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