[发明专利]真空阀

摘要

本发明提供真空阀，所述真空阀在阀片使开口开始打开的期间，能够使阀片的形状不发生变化地使打开面积相对于阀片的打开角度缓慢地变化。真空阀(1)中，阀开口(45)的边缘的一部分为向外侧凸出的楔形状的楔缘部(D1)。楔缘部(D1)设置于在使阀片(8)移动而使阀开口(45)打开时，阀片(8)使阀开口(45)开始打开的区域。

主权项

1.一种真空阀，包括阀开口及将所述阀开口开闭的圆形的阀片，所述真空阀的特征在于：所述阀开口的边缘的一部分为向外侧凸出的楔形状的楔缘部，所述楔缘部设置于在使所述阀片移动而使所述阀开口打开时，所述阀片使所述阀开口开始打开的区域，所述楔缘部的楔的顶点位于所述阀片的边缘首先与所述阀开口的边缘相接的位置，所述楔缘部包括从所述顶点延伸的第一线段、从所述顶点延伸的第二线段、从所述第一线段延伸的第一圆弧及从所述第二线段延伸的第二圆弧，所述第一线段与所述第二线段分别对应从所述顶点朝向位于成为规定开度的位置的所述阀片的边缘延伸的切线，所述阀开口的边缘进而包括连接所述第一圆弧与所述第二圆弧的圆弧。