[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，不使每1脉冲的功率密度减半地将激光光线分支成多个而形成多个聚光点。激光加工装置的光学系统包含：以规定的重复频率振荡出脉冲激光光线的脉冲激光振荡器；偏振光束分光器；将穿过偏振光束分光器的P偏振光的脉冲激光光线转换成圆偏振光的1/4波长板；以及将穿过1/4波长板的脉冲激光光线分配到第1路径和第2路径的谐振扫描器。光学系统还包含：第1反射镜，其配设于第1路径，以使相对于借助谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行的方式进行反射；以及第2反射镜，其配设于第2路径，以使相对于借助谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行的方式进行反射。

主权项

1.一种激光加工装置，其具有：脉冲激光振荡器，其以规定的重复频率振荡出脉冲激光光线；偏振光束分光器，其配设在该脉冲激光振荡器的激光光线振荡方向下游侧；1/4波长板，其将穿过了该偏振光束分光器的P偏振光的脉冲激光光线转换成圆偏振光；谐振扫描器，其将穿过了该1/4波长板的脉冲激光光线分配到第1路径和第2路径；频率设定器，其设定该谐振扫描器的分配频率；第1逆行构件，其配设于该第1路径，使相对于借助该谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；第2逆行构件，其配设于该第2路径，使相对于借助该谐振扫描器而分配的脉冲激光光线的往路的光路稍微倾斜的返路的光路逆行；以及聚光器，其配设于借助该第1逆行构件和该第2逆行构件而逆行的脉冲激光光线在穿过该1/4波长板从而被转换成S偏振光的脉冲激光光线之后被该偏振光束分光器引导的路径中。