[发明专利]纵型霍尔元件有效
| 申请号： | 201510818916.2 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105633274B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 铃木聪之;海老原美香;飞冈孝明 | 申请（专利权）人： | 艾普凌科有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/06 | 分类号： | H01L43/06;G01R33/07 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供纵型霍尔元件，其为不会增大芯片面积的高灵敏度的纵型霍尔元件。在纵型霍尔元件中，在电压输出端与第1电流供给端之间设置有内部被绝缘膜填充的沟槽。由此，能够抑制朝电压输出端的电流流入，从而增加垂直的电流分量的比例，其结果是能够提高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 元件 | ||
【主权项】：
一种纵型霍尔元件，其特征在于，具有：半导体衬底；N型的半导体层，其设置在所述半导体衬底上；N型的埋入层，其设置在所述半导体层的底部；第1电流供给端，其设置在所述埋入层的上方；一组第2电流供给端，它们以所述第1电流供给端为中心，对称配置在所述第1电流供给端的两侧，并从所述半导体层的表面向内部设置；一组电压输出端，它们以与连结所述一组第2电流供给端的直线垂直的方式，以所述第1电流供给端为中心，对称配置在所述第1电流供给端的两侧，并从所述半导体层的表面向内部设置；以及沟槽，其分别设置于所述第1电流供给端与所述一组电压输出端中的一方之间、以及所述第1电流供给端与所述一组电压输出端中的另一方之间的所述半导体层，所述沟槽的内部被绝缘膜填充。
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