[发明专利]一种循环氢气再纯化的方法及装置在审
| 申请号： | 201510820198.2 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105293438A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;田洪先;刘强;吴学林 | 申请（专利权）人： | 宜昌南玻硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/56 | 分类号： | C01B3/56 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 蒋悦 |
| 地址： | 443007 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的一种循环氢气再纯化的方法及装置，涉及多晶硅生产领域。将循环氢气通过吸附除杂，使氢气中硼和磷元素杂质含量由10 ppba降至0.1 ppba以下的一种方法及装置。具体是将循环氢气首先通入氢气冷却器进行冷却，将氢气冷却至0～30℃之间，进入一级吸附反应柱，吸附去除含硼元素为主的杂质；经过一级吸附后的循环氢气再进入氢气深冷器，将氢气冷却至-88～-68℃之间，进入二级吸附反应柱，吸附去除含磷元素为主的杂质。本发明实现循环氢气的吸附反应去除硼、磷元素等有害杂质，大幅降低了氢气中的含硼、磷元素杂质的含量，提升了循环氢气的品质，使改良西门子法稳产电子级多晶硅成为可能，突破了国外的技术封锁。该工艺流程简单，操作简便，除杂效果明显。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环 氢气 纯化 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种循环氢气再纯化的方法，其特征在于：该循环氢气来自还原尾气干法回收工序中的回收氢气，循环氢气首先通入氢气冷却器（1）进行冷却，将氢气冷却至0～30℃，优选值为20℃，将经过冷却的循环氢气通入一级吸附反应柱（2），去除含硼元素为主的杂质；经过一级吸附反应后的循环氢气通入氢气深冷器（3），将氢气冷却至‑88～‑68 ℃，优选值为‑80℃，经过冷却后的循环氢气进入二级吸附反应柱（4），除去含磷元素为主的杂质，吸附温度为‑88～‑68 ℃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宜昌南玻硅材料有限公司，未经宜昌南玻硅材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510820198.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
