[发明专利]一种酸洗后二极管的清洗工艺在审

专利信息
申请号: 201510821351.3 申请日: 2015-11-24
公开(公告)号: CN105390376A 公开(公告)日: 2016-03-09
发明(设计)人: 黄丽凤 申请(专利权)人: 如皋市大昌电子有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人: 滑春生
地址: 226500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种酸洗后二极管的清洗工艺,依次包括超声波清洗、超声波精洗、超声波漂洗、无水乙醇清洗、无水乙醇漂洗、超声波一次脱水和超声波二次脱水七个步骤。本发明的优点在于:本发明酸洗后二极管的清洗工艺,采用三道高纯水超声波清洗,再经过两道无水乙醇清洗,清洗后用两道超声波脱水,使产品高温性能大幅度提高;且对纯水和乙醇加热,易于溶解芯片表面的污染物,同时整个工艺流程采用特定设备,能最大限度降低环境对电子器件造成污染。
搜索关键词: 一种 酸洗 二极管 清洗 工艺
【主权项】:
一种酸洗后二极管的清洗工艺,其特征在于:包括如下步骤:(1)超声波清洗:将待清洗的二极管放入到超声波清洗槽中,功率控制在1500~2000W范围内,频率控制在30~36KHZ范围内,水流速度控制在15~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的纯水进行超声波清洗100~150s;(2)超声波精洗:将经上述超声波清洗的二极管放入到超声波精洗槽中,功率控制在1500~2000W范围内,频率控制在30~36KHZ范围内,水流速度控制在15~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的纯水进行超声波精洗100~150s;(3)超声波漂洗:将经上述超声波精洗的二极管放入到超声波漂洗槽中,功率控制在1500~2000W范围内,频率控制在30~36KHZ范围内,水流速度控制在15~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的纯水进行超声波漂洗100~150s;(4)无水乙醇清洗:将经上述超声波漂洗的二极管放入到无水乙醇清洗槽中,功率控制在1500~2500W范围内,频率控制在30~40KHZ范围内,流速度控制在16~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的无水乙醇进行清洗60~120s;(5)无水乙醇漂洗:将经上述无水乙醇清洗的二极管放入到无水乙醇漂洗槽中,功率控制在1500~2500W范围内,频率控制在30~40KHZ范围内,流速度控制在16~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的无水乙醇进行漂洗60~120s;(6)超声波一次脱水:将经上述无水乙醇漂洗的二极管放入到IPA超声波一次脱洗槽中,功率控制在1500~2000W范围内,频率控制在30~36KHZ范围内,水流速度控制在15~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的异丙醇进行超声波一次脱水100~150s;(7)超声波二次脱水:将经超声波一次脱水的二极管放入到IPA超声波二次脱洗槽中,功率控制在1500~2000W范围内,频率控制在30~36KHZ范围内,水流速度控制在15~18L/min范围内,采用电阻大于12Ω.m,且温度在20~40℃范围内的异丙醇进行超声波二次脱水100~150s。
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