[发明专利]一种悬臂式探针系统在审
申请号: | 201510821440.8 | 申请日: | 2015-11-23 |
公开(公告)号: | CN105277755A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 岳小兵;张志勇;祁建华;施瑾;王锦 | 申请(专利权)人: | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种悬臂式探针系统,包括探针、探针卡板以及防止所述探针的针尖熔断的保护装置,所述探针远离针尖的一端与所述保护装置一端焊接,所述保护装置另一端焊接于所述探针卡板上。本发明通过设置在探针卡的探针与基板的焊接部位增加保护装置(例如熔断器),可以在针尖导通电流接近限定电流时断开电路,保护了探针针尖,有效的解决了探针针尖熔断的问题,将探针针尖熔断改进为熔断器熔断,从而使探针针尖熔断更换探针超过24小时以上甚至无法更换探针,改进到只需更熔断器,几分钟内即可处理完毕,这样既降低了成本也节约了时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬臂 探针 系统 | ||
【主权项】:
一种悬臂式探针系统,其特征在于,包括探针、探针卡板以及防止所述探针的针尖熔断的保护装置,所述探针远离针尖的一端与所述保护装置一端焊接,所述保护装置另一端焊接于所述探针卡板上。
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