[发明专利]一种利用NO2和金属源快速提高微滤膜亲水性能的方法

摘要

一种利用NO₂和金属源快速提高微滤膜亲水性能的方法，它涉及一种提高微滤膜亲水性能的方法。本发明的目的是要解决现有利用原子层沉积技术在有机微滤膜表面沉积金属氧化物速度缓慢和改性效果不明显的问题。方法：一、预热；二、将有机微滤膜放入原子层沉积腔体中真空干燥；三、沉积第一前驱体和第二前驱体；四、循环沉积第一前驱体和第二前驱体；五、沉积第二前驱体和第三前驱体；六、循环沉积第二前驱体和第三前驱体，得到亲水性微滤膜。优点：利用NO₂和金属源在微滤膜表面形成的吸附层，可加速后续金属氧化物的沉积。在较低循环次数条件下，可形成均匀的改性沉积层。本发明主要用于制备亲水性微滤膜。

主权项

一种利用NO₂和金属源快速提高微滤膜亲水性能的方法，其特征在于它是按以下步骤完成的：一、预热：将原子层沉积腔体的温度设为60～300℃，管路温度设为50～280℃，反应源温度设为20～100℃，进行预热，预热5min～20min；二、真空干燥：将有机微滤膜放入原子层沉积腔体中真空干燥5～20min；三、沉积第一前驱体和第二前驱体：将第一前驱体脉冲至反应腔体内，脉冲时间设为10ms～200ms，在温度为60～300℃下反应1s～20s，反应完成后，通入惰性气体清洗腔体2s～30s，然后将第二前驱体脉冲至反应腔体内，脉冲时间设为10ms～200ms，在温度为60～300℃下反应1s～20s，反应完成后，通入惰性气体清洗腔体2s～30s，完成第一沉积第一前驱体和第二前驱体；四、循环沉积第一前驱体和第二前驱体：重复步骤三操作，循环沉积3～20次，完成有机微滤膜的预吸附层沉积；五、沉积第二前驱体和第三前驱体：将第二前驱体脉冲至反应腔体内，脉冲时间设为10ms～200ms，在温度60～300℃下反应1s～20s，反应完成后，通入惰性气体清洗腔体2s～30s，然后将第三前驱体脉冲至反应腔体内，脉冲时间设为10ms～200ms，在温度60～300℃下反应1s～20s，反应完成后，通入惰性气体清洗腔体2s～30s，完成第一沉积第二前驱体和第三前驱体；六、循环沉积第二前驱体和第三前驱体：重复步骤五操作，循环沉积20～800次，即完成微滤膜的亲水改性，得到亲水性微滤膜；步骤三中所述的第一前驱体为NO₂，步骤三和五中所述的第二前驱体为金属源；步骤五中所述的第三前驱体为氧源。