[发明专利]一种高精度CVDZnSe透镜非球面加工方法

摘要

本发明属于单点金刚石超精密切削技术领域，主要涉及一种高精度CVD ZnSe透镜的单点金刚石车削加工方法，目的是提供一种能够保证CVD ZnSe透镜非球面面形精度、表面疵病及中心偏等技术指标的加工方法，其主要特征是采用单点金刚石车削机床及金刚石圆弧刀对CVD ZnSe透镜进行超精密车削加工，该工艺方法加工流程主要包括下料、磨外圆、粗磨、加工工装、粗车、半精车、精车。本发明优点是将磨外圆工序放在首道工序，通过精加工毛坯外圆、粗磨技术指标控制及精密车削加工工装保证透镜中心偏差技术指标；同时，将单点金刚石车削工步分为半精车和精车，有效的减小粗车毛坯材料时产生的损伤层，保证了表面疵病及面形技术指标。

主权项

一种高精度CVD ZnSe透镜非球面加工方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步：下料；第二步：磨外圆；第三步：粗磨；第四步：精修工装；第五步：粗车；第六步：半精车；第七步：精车；第八步：检测面形；第九步：反馈精修；所述第一步中，用内圆切割机对CVD ZnSe材料切割下料，得到ZnSe透镜毛坯，毛坯外圆留有0.5～3mm余量；中心厚留有0.5～4mm余量；所述第二步中，用磨边机将外圆磨削至完工尺寸，外圆圆度不大于1μm。