[发明专利]MEMS中的弹簧结构、麦克风器件及加速度传感器有效
| 申请号： | 201510824510.5 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105502274B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 宋月琴 | 申请（专利权）人： | 宋月琴 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)11413 | 代理人： | 马敬,项京 |
| 地址： | 100022 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS中的弹簧结构，包括从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开；第一臂和第二臂的旋出端具有连接端，分别接固定部件和活动部件。该结构采用了螺旋结构，使得弹簧在牵引方向外的其他各方向也具有较好的弹性，使得弹簧结构具有更好的力学特性，避免弹簧断裂而造成的器件失效的发生。 | ||
| 搜索关键词： | mems 中的 弹簧 结构 麦克风 器件 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS中的弹簧结构，其特征在于，包括：从同一中心点在一个平面内旋出的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂螺旋、间隔排列，且由间隙分隔开；第一臂和第二臂的旋出端具有连接端，分别接固定部件和活动部件；其中，所述第一臂和第二臂的连接端在整个圆周方向延伸；所述第一臂和所述第二臂的材料为介质材料，通过在介质材料层中刻蚀出螺旋的间隙的图案，通过间隙释放出所述第一臂和所述第二臂，从而形成上述的弹簧结构。
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