[发明专利]一种通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法

摘要

本发明公开了一种通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法，包括蓝宝石基底的清洗、超高真空对靶磁控溅射设备的真空室进行溅射，在表面沉积钒薄膜、将制得的钒薄膜放于快速退火炉中进行快速氧化热退火的步骤。本发明采用磁控溅射的方式溅射钒薄膜，然后在快速退火炉中进行快速氧化退火，在整个过程中没有其他物质的掺杂，仅仅改变退火参数，并利用四探针对所制备二氧化钒薄膜的相变特性进行研究，是一种制备过程简单，易于控制，实现对VO2相变温度进行调控，降低相变温度的方法。

主权项

一种通过快速热处理调控二氧化钒相变温度的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)蓝宝石基底的清洗：将蓝宝石片依次放入去离子水、丙酮以及无水乙醇中分别超声清洗，除去表面的有机杂质；再用去离子水洗净，最后将蓝宝石基片放入无水乙醇中备用；(2)制备钒薄膜：将洗净并烘干的蓝宝石基片置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室进行溅射，在表面沉积钒薄膜；(3)二氧化钒薄膜的制备：将步骤(2)制得的钒薄膜放于快速退火炉中进行快速氧化热退火；炉内温度的改变规律分为为升温、保温、降温三个阶段，热氧化时通入的气体为高纯氧气，升温和保温时气体流量为3‑7slpm，降温阶段气体流量固定为10slpm，保温温度为300‑700℃，升温速率通过设定保温温度和升温时间来确定，例如保温温度为450℃,升温时间9s，升温速率则为50℃/s，保温时间70s‑170s，降温时间90s。