[发明专利]石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置有效
申请号: | 201510826421.4 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105372207B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 朱君;徐汶菊;秦柳丽;宋树祥;傅得立 | 申请(专利权)人: | 广西师范大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人: | 刘梅芳 |
地址: | 541004 广西壮*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置,其特征是,包括顺序叠接的底层介质层、中间层和顶层的石墨烯纳米阵列层;所述的石墨烯纳米阵列层为纳米粒子结构的石墨烯阵列层。这种装置中由于石墨烯的低损耗、良好导体特性克服了信道中自发辐射产生的噪声损耗;采用的纳米粒子阵列不仅易于传播SPPs,且对于痕量气体分子的吸附效果具有显著的改进;检测的痕量气体不仅可以针对单一气体的检测,还可针对特殊环境中多种有毒气体测量。这一装置提供了一种高灵敏度、测量范围宽的传感器件,且以现有制备技术而言,易于实现。 | ||
搜索关键词: | 石墨 材料 表面 等离子 波导 痕量 气体 传感 装置 | ||
【主权项】:
1.石墨烯材料的表面等离子波导痕量气体传感装置,其特征是,包括顺序叠接的底层介质层、中间层和顶层的石墨烯纳米阵列层,所述中间层为玻璃层,所述的石墨烯纳米阵列层为纳米粒子结构的石墨烯阵列层,所述石墨烯纳米阵列层通过氧化石墨烯方法得到,通过沉积、刻蚀的方法将石墨烯纳米粒子阵列层吸附在玻璃层上。
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