[发明专利]一种光学元件重力变形补偿装置有效
申请号: | 201510827320.9 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105372949A | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
发明(设计)人: | 方斌;田伟;苗二龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130000 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种光学元件重力变形补偿装置,包括光学元件、可变形镜框、一对环形电磁铁、电容传感器和上盖板;可变形镜框为镜框内环、镜框外环和支撑圆环组成的一体化结构,镜框内环通过侧壁上的注胶孔与光学元件固连,支撑圆环下部与外镜框凸台接触提供支撑点,镜框外环上部安装一个环形电磁铁,通过电磁铁间的排斥提供垂直向下的位移量,加载后可变形镜框外框带动内框发生轴向移动,从而导致光学元件发生形变,最终实现旋转对称像差的补偿;具有结构简单,设计合理等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 元件 重力 变形 补偿 装置 | ||
【主权项】:
一种光学元件重力变形补偿装置,其特征在于,包括:外镜框(3),其内周设置有向上延伸的支撑台(31),其外侧壁与所述支撑台(31)之间设置有凹槽(32);可变形镜框(2),其通过上盖板(6)压紧于所述外镜框(3)内,且所述可变形镜框(2)由一体连接的镜框内环(21)、支撑圆环(22)和镜框外环(23)构成,其中,所述镜框内环(21)用于与光学元件固连,所述支撑圆环(22)支撑于所述支撑台(31)的上方,所述镜框外环(23)悬于所述凹槽(32)的上方;第一环形电磁铁(41),设置于所述上盖板(6)的下表面;第二环形电磁铁(42),设置于所述镜框外环(23)的上表面,与所述第一环形电磁铁(41)相对,所述第二环形电磁铁(42)与所述第一环形电磁铁(41)之间的排斥力分别垂直作用于所述镜框外环(23)和所述上盖板(6)上。
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