[发明专利]平整度检测装置在审
| 申请号： | 201510827537.X | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105509624A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 徐继彭;赖阳球 | 申请（专利权）人： | 英业达科技有限公司;英业达股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余毅勤 |
| 地址： | 201114 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平整度检测装置，包括承载机构，用于承载一待测装置，以限定一承载面；可升降支撑机构，用于支撑所述承载机构，并带动所述承载机构做升降运动直至所述承载面调整为一基准面；以及测量机构，用于测量所述待测装置的一底面与所述基准面的一高度差，以检测所述待测装置的平整度。本发明的平整度检测装置，通过设置可升降支撑机构，能够快速将承载机构的承载面调整为一基准面，提高了基准面的调整精度和调整效率。 | ||
| 搜索关键词： | 平整 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种平整度检测装置，其特征在于，包括：一承载机构，用于承载一待测装置，以限定一承载面；一可升降支撑机构，用于支撑所述承载机构，并带动所述承载机构作升降运动直至将所述承载面调整为一基准面；以及一测量机构，用于测量所述待测装置的一底面与所述基准面的一高度差，以检测所述待测装置的平整度。
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