[发明专利]一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法有效
| 申请号： | 201510828015.1 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106769273B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 佟雷;刘伯聪;金长宇;赵崇凌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;B65G35/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及超高真空下样品多工序加工及检测技术领域，具体的说是一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统。包括样品车行走通道、磁耦合传输系统、传输小车组件、支架、真空抽气系统及控制系统，其中样品车行走通道安装在所述支架上，真空抽气系统与样品车行走通道连接，用于样品车行走通道抽真空，样品车行走通道内设有在轨道上行驶的传输小车组件，样品车行走通道的外部设有磁耦合传输系统，磁耦合传输系统与控制系统点连接、并通过控制系统的控制来实现与传输小车组件磁耦合及带动传输小车组件前行。本发明采用了磁力耦合传输技术，该技术考虑了特殊的极高真空工况环境及空间受限等因素的影响，实现了样品的稳定可靠传输。 | ||
| 搜索关键词： | 车行 传输小车 磁耦合 超高真空 传输系统 控制系统 真空抽气系统 生产系统 多工序 支架 检测技术领域 多工序加工 传输技术 磁力耦合 工况环境 极高真空 可靠传输 空间受限 通道连接 抽真空 点连接 前行 行驶 轨道 外部 | ||
【主权项】：
1.一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，其特征在于，包括样品车行走通道、磁耦合传输系统(3)、传输小车组件(8)、支架、真空抽气系统及控制系统，其中样品车行走通道安装在所述支架上，所述真空抽气系统与所述样品车行走通道连接，用于所述样品车行走通道抽真空，所述样品车行走通道内设有在轨道上行驶的传输小车组件(8)，所述样品车行走通道的外部设有磁耦合传输系统(3)，所述磁耦合传输系统(3)与控制系统点连接、并通过所述控制系统的控制来实现与所述传输小车组件(8)磁耦合及带动所述传输小车组件(8)前行；所述磁耦合传输系统(3)包括齿形带(301)、驱动气缸(303)、调节支杆(304)、定位光耦(305)、支撑横梁(308)、伺服电机(309)、限位块(310)、导轨(311)及永磁磁钢(312)，其中支撑横梁(308)通过调节支杆(304)安装在所述支架上、并与所述样品车行走通道平行，所述支撑横梁(308)上设有导轨(311)、定位光耦(305)及齿形带传动装置，所述限位块(310)与所述齿形带传动装置中的齿形带(301)固定连接，所述限位块(310)通过滑块与所述导轨(311)滑动连接；所述驱动气缸(303)安装在所述限位块(310)上，所述驱动气缸(303)的输出轴与所述永磁磁钢(312)连接。
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